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              400-677-0098
              關鍵詞:化學氣相沉積爐CVDCVI沉積爐
              臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)
              臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)
              產品描述:
              臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)主要用于以碳氫氣體(如C3H8、CH4等)為碳源的材料表面或基體的CVD/CVI處理
              應用范圍:
              炭/炭剎車盤、晶體爐坩堝、熱壓模具、高溫發熱體/緊固件、熱場材料等

              臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)技術特征

              電阻爐可采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;

              采用智能壓力調控,壓力波動小;

              全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

              多通道工藝氣路,流程均勻,無沉積死角,沉積效果好;

              多級高效尾氣處理系統,環境友好,易清理;

              可選配外循環快冷系統,降溫時間短,生產效率高;

              可用于高溫熱解炭沉積,最高溫度可達2200℃;

              適用于工藝氣氛:真空/CH4/C3H6/H2/N2/Ar。

              臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)產品規格

              參數\型號HCVD-060609-CHCVD-101015-CHCVD-121220-CHCVD-151530-CHCVD-252035-C
              工作區尺寸 W×H×L(mm)600×600×9001000×1000×15001200×1200×20001500×1500×30002500×2000×3500
              最高溫度(℃)15001500150015001500
              溫度均勻性(℃)±7.5±7.5±10±10±10
              極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-100
              壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.67
              加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻
              以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

              臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)配置選擇

              結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

              爐門鎖緊方式:手動/自動

              爐殼材質:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

              保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈

              加熱器、馬弗:石墨/CFC/金屬

              熱電偶:K/N/C/S分度號

              電源:KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)

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